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电子显微镜的原理及分类丨WALINOVA显微镜丨北京永盛华远商贸中心

收藏 2020-07-23

  电子显微镜以电子束作为光源对样品进行照明。由于电子的波长大大小于可见光,电子显微镜的分辨率相对于光学显微镜大大提高,目前已经可以超过50皮米(1皮米等于千分之一纳米)。按照工作原理的不同,电子显微镜可分为透射电子显微镜,扫描电子显微镜,反射电子显微镜,连续切片电子显微镜等等。这里介绍最主要的透射电镜以及扫描电镜。

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  透射电子显微镜 (Transmission Electron Microscope, TEM)

  透射电子显微镜与光学显微镜类似,采用高能电子束作为光源,电磁透镜进行聚焦,利用样品对电子的散射和透射形成明暗反差来成像,用荧光屏或感光胶片对图像进行记录。传统透射电镜受到球差影响限制,分辨率在0.2纳米左右,而随着硬件条件不断发展,现在已经突破50皮米。透射电镜的局限性在于要求样品的厚度非常薄,通常不超过0.1微米,对样品的制备造成了很大的挑战,同时高能电子以及真空环境可能对样品产生伤害。

  扫描电子显微镜 (Scanning electron microscope, SEM)

  扫描电子显微镜使用电子“探针”对样品表面进行扫描,电子束激发样品表面放出二次电子,并被探测器收集成像。扫描电镜的分辨率为纳米级,通常比透射电镜要弱。但它不要求对样品进行切片,可以进行三维成像,而且对真空度要求不高,可以对很多生物样品进行成像。

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